講演会
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第209回講演会
主題
『集束プロトンビームによる微細加工技術と成型への応用』
プロトンビーム描画(Proton Beam Writing：PBW)は、ナノビーム化されたプロトンを使う新しいマイクロ・ナノ加工技術です。電子と比べ質量の大きなプロトンを加速することで被照射材中の散乱は極めて小さく、100μm級の加工深さと垂直加工性が両立でき、高アスペクト比形状が加工できます。本講演会では、プロトンビーム描画技術の学術的・技術的側面と、電鋳・成形などの一連の微細加工プロセス、及び、その応用について、この分野でご活躍中の講師の方々に判り易く解説していただきます。
| 主催： |
大阪府立大学ニュー・フロンティア材料研究会 |
|---|---|
| 共催： | 大阪府立大学ナノファブリケーション研究所 |
| 協賛： |
芝浦工業大学 先端工学研究機構、・（独）日本原子力研究開発機構高崎量子応用研究所、・国立シンガポール大学 Centre for Ion Beam Applications、・フィンランド技術庁(Tekes)、・応用物理学会関西支部 |
講演スケジュール
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13:10-13:40
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「フレキシブル微細加工研究センターの紹介」 芝浦工業大学 先端工学研究機構フレキシブル微細加工研究センターセンター長 西川 宏之 |
|---|---|
| 13:40-14:30 |
「プロトンビーム加工の研究開発」 National University of Singapore, Professor Frank Watt |
| 14:30-15:00 |
「イオンビーム制御技術」 (独)日本原子力研究開発機構 高崎量子応用研究所ビーム技術開発課 課長 神谷 富裕 |
| 15:10-16:00 |
「プロトンビーム加工技術とデバイス応用」 University of Jyväskylä (Finland), Professor Harry J. Whitlow |
| 16:00-16:30 |
「プロトンビーム加工技術のナノインプリントへの応用」 大阪府立大学 工学研究科 教授 平井 義彦 |
| 16:30-17:00 |
「プロトンビーム加工技術における電鋳への取り組み」 元都立大大学院応用化学専攻元助教授、芝浦工業大学 非常勤講師 渡邉 徹 |
| 17:00-17:20 | 「集束イオンビーム装置への取り組み」
(株)神戸製鋼所 技術開発本部 電子技術研究所 電子応用研究室 小林 明 |
| 日時 | 平成19年2月28日（水） 13：00～19:30 （懇親会 17:30～19:30） |
|---|---|
| 場所 | S-CUBE (株式会社さかい新事業創造センター) 多目的ホール（〒591-8025 堺市北区長曽根町130番地42）南海・地下鉄「中百舌鳥駅徒歩10分」 （TEL：072-240-3775） |
| 参加費 | 当会会員、共催会員、学生は無料 一般5,000円 懇親会費4,000円 |
お問合せ
| 世話人 |
平井義彦（Tel:072-254-9267）内線 2286 E-mail:hirai@pe.osakafu-u.ac.jp |
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| お問合せ先 | ニュー・フロンティア材料研究会 〒599-8531 堺市中区学園町1-1 （公立大学法人 大阪府立大学大学院 工学研究科 電子・数物系専攻電子物理工学分野 内藤研究室内） Tel: 090-4293-4866 Fax:072-254-9266 E-mail:new-f[at]riast.osakafu-u.ac.jp [at]を@に換えてご送信ください。 |
大阪府立大学工学研究科
