講演会

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第179回講演会

主題            

『分光エリプソメトリーが開く新しい材料評価の世界』

　本学の大学院最先端設備（平成１２年度）として納入した分光エリプソメーターは紫外（190nm）から近赤外（1700nm）までの広い波長域を4Kから450Kまでの温度範囲で使用できるすぐれものです。今回の研究会は、半導体、ナノ結晶、強誘電体の分光エリプソメトリー評価のお話３題をきっかけに、共同利用設備としての分光エリプソメーターの幅広い利用を促すことを目的に開催します。

講演スケジュール

講演1.

「分光エリプソメトリーによる元素および化合物半導体の物性とプロセス評価」

群馬大学　工学部　    　　　          　　　　　　　　　　　　　　　　　 安達　定雄

講演2.

「分光エリプソメトリーによるシリコンナノ結晶の光学物性の評価」

埼玉大学　工学部　　　   　　　　　                                                   白井　肇

講演3.

「Thin film and bulk applications related with

                                        influence of external fields and phase transitions」

大阪府立大学　大学院　工学研究科                                                      マメドフ　ナジム
日時 平成15年1月24日（金）14：00～17 : 00  　　

場所

大阪府立大学学術交流会館
参加費 当会会員、共催会員、学生は無料、一般5,000円　

お問合せ

世話人

山本　信行（Tel:072-254-9268）内線2274

                                  E-mail: yamamoto@pe.osakafu-u.ac.jp                 
お問合せ先 ニュー・フロンティア材料研究会
〒599-8531 堺市中区学園町1-1
（公立大学法人　大阪府立大学大学院　工学研究科
電子・数物系専攻電子物理工学分野　内藤研究室内）
Tel: 090-4293-4866
Fax:072-254-9266
E-mail:new-f[at]riast.osakafu-u.ac.jp
[at]を@に換えてご送信ください。