第152回講演会

主題

『微細加工技術の新局面：新しいプロセス、新しい応用』

講演1.	「ドライエッチング技術を用いた微細光学素子の作製」㈶大阪科学技術センター地域COE推進室　豊田　宏、四谷　任
講演2.	「新しいマイクロマシン作製プロセス」大阪府立大学大学院工学研究科　川田　博昭
講演3.	「シンクロトロン放射光リングラフィによる高アスペクト比マイクロマシンの製作」立命館大学理工学部　杉山　進

講演1.

「ドライエッチング技術を用いた微細光学素子の作製」

㈶大阪科学技術センター地域COE推進室　 豊田　宏、四谷　任

講演2.

「新しいマイクロマシン作製プロセス」

大阪府立大学大学院工学研究科　 川田　博昭

講演3.

「シンクロトロン放射光リングラフィによる高アスペクト比マイクロマシンの製作」

立命館大学理工学部　 杉山　進

世話人	大阪府立大学大学院工学研究科　電子物理工学分野　　　川田　博昭
お問合せ先	ニュー・フロンティア材料研究会〒599-8531 堺市中区学園町1-1 （公立大学法人　大阪府立大学大学院　工学研究科電子・数物系専攻電子物理工学分野　内藤研究室内） Tel: 090-4293-4866 Fax:072-254-9266 E-mail:new-f[at]riast.osakafu-u.ac.jp [at]を@に換えてご送信ください。